Generator tlenu PSA do półprzewodnika

W kontekście niezwykle wysokich wymagań produkcji półprzewodników w zakresie czystości i stabilności gazu generator tlenu PSA stosuje technologię adsorpcji huśtawki (PSA), wykorzystuje powietrze jako surowiec i wykorzystuje różnicę w zakresie zdolności adsorpcji gazu adsorbentu pod różnymi ciśnieniami w celu wydajnego oddzielnego tlenu w zakresie bezpieczeństwa. Generator tlenu może wyprowadzać tlen z precyzyjną czystością i stabilnym przepływem, spełniając surowe wymagania dotyczące tlenu we wszystkich aspektach produkcji półprzewodników, od przetwarzania opłat po opakowanie ChIP. Sprzęt ma wysoki stopień automatyzacji, może stabilnie działać przez długi czas, zmniejszać koszty eksploatacji i konserwacji oraz może elastycznie dostosowywać różne parametry, aby stworzyć niezawodne, wydajne i ekonomiczne rozwiązanie dostaw tlenu dla producentów półprzewodników, pomagając branży półprzewodników poprawić wydajność produkcji i jakość produktu.

Wyślij zapytanie

Opis

Parametry techniczne

Dlaczego przemysł półprzewodnikowy potrzebuje generatorów tlenu PSA?

Dostawa gazu o dużej czystości:Produkcja półprzewodników ma ścisłe wymagania dotyczące czystości gazu, a tlen o dużej czystości jest niezbędny do litografii, czyszczenia i innych linków. Za pomocą technologii adsorpcji huśtacy ciśnieniowej generator tlenu PSA wytwarza tlen o czystości 95%± 3%, co spełnia wymagania tworzenia warstwy tlenkowej i czyszczenia wafla i unika ryzyka zanieczyszczenia zanieczyszczenia tradycyjnego cylindra gazowego.
Zapewnij stabilność procesu:Linie produkcyjne półprzewodników wymagają ciągłego i stabilnego dostaw gazu. Generator tlenu PSA wykorzystuje podwójne wieże adsorpcyjne do pracy naprzemiennie, a poprzez inteligentną kontrolę PLC może osiągnąć 24- nieprzerwane dostawę tlenu, unikać przerwy w produkcji spowodowanej ręczną wymianą butelki i dostosować się do procesów wrażliwych na ciśnienie powietrza, takie jak osadzanie się i etchowanie cienkiego filmu.
Zmniejsz koszty i zoptymalizuj przestrzeń:W porównaniu z zbiornikami do przechowywania ciekłego tlenu i wysokociśnieniowymi cylindrami gazowymi, generatory tlenu PSA wytwarzają tlen na miejscu, znacznie zmniejszając koszty transportu i magazynowania. Ma niewielki ślad i obsługuje rozszerzenie modułowe, które spełnia potrzeby maksymalizacji wykorzystania przestrzeni w czystych warsztatach fabryk półprzewodników. Koszt długoterminowego stosowania jest o około 20% niższy niż tradycyjna metoda.
Dostosuj się do specjalnych procesów:W zaawansowanych procesach niektóre specjalne procesy wymagają precyzyjnej kontroli stężenia tlenu. Generator tlenu PSA może elastycznie dostosować czystość wyjściową tlenu (95%-99. 9%) poprzez dostosowanie ciśnienia adsorpcji i współczynnika sita molekularnego, aby spełnić specjalne wymagania procesowe produkcji pamięci Flash 3D NAND.
Przyjazny dla środowiska i łatwy w utrzymaniu:Technologia PSA nie wymaga odczynników chemicznych, a proces produkcji tlenu nie emituje szkodliwych substancji, który spełnia standardy ochrony środowiska w branży półprzewodnikowej. Sprzęt wykorzystuje stal nierdzewną i samozwańczych czyszczących spożywcze, z cyklem konserwacyjnym do lat 3-5 i jest odpowiednia do środowisk produkcyjnych waflu o wysokiej czyszczeniach.

Bezpłatna konsultacja

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

kategoria	Szczegóły parametru
Czystość tlenu	93% -99. 5% (system filtracji Ulpa można dostosować, zawartość zanieczyszczenia mniejsza lub równa 1ppb)
Ciśnienie wyjściowe	0. 5-1. 5MPA (regulowane, dostosowane do standardu wlotu powietrza sprzętu półprzewodnikowego)
Zakres przepływu	10-5000 nm³/h (obsługuje równoległe rozszerzenie wielu jednostek)
Punkt rosy	Mniejszy lub równy stopniu -70 (aby zapobiec zanieczyszczeniu środowiska procesu)
Efektywność energetyczna	Mniej niż lub równe 0.
Poziom hałasu	Mniej niż 65dB (niska konstrukcja wibracyjna + Soundproof Shell, zgodnie z standardami czystego pomieszczenia klasy 1000)

Podstawowe zalety generatora tlenu PSA

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Gwarancja ultra-wysokiej czystości
Do głębokiego usunięcia zanieczyszczeń, takich jak węglowodory i CO₂, podwójne warstwy utleniania cząsteczkowe i katalityczne utlenianie są wykorzystywane, a czystość tlenu osiąga ponad 99,5%, spełniając standard pół-F20. Wbudowany analizator online w czasie rzeczywistym, synchronizacja danych z fabrycznym systemem SCADA w celu zapewnienia stabilności procesu.

Inteligentna kontrola i zbędny projekt
Zintegrowany system sterowania PLC+HMI obsługuje zdalne monitorowanie, samodiagnozę błędów i przełączanie awaryjne (podwójna nadmiarowa adsorpcja). Technologia automatycznej kompensacji ciśnienia, aby poradzić sobie z natychmiastowym zapotrzebowaniem na wysokie przepływ sprzętu półprzewodnikowego.

Rozwiązanie energooszczędne o niskim obrębie
VPSA (adsorpcja huśtawki próżniowej) Technologia synergistyczna zmniejsza zużycie energii, oszczędzając 15% -20 Energia w porównaniu z tradycyjnym modułem odzyskiwania ciepła PSA.Opticial odpadów w celu zmniejszenia warsztatów ciepła.

Czysta zgodność pokoju
Cała powłoka nano nierdzewna kanał przepływu stali nierdzewnej, aby uniknąć zanieczyszczenia jonów metali; Zero Uszczelnianie zapieczętowania, przekazany certyfikat ISO 8573-1.

PSA Rodzaje roślin tlenu

Sprzęt modułowy

Sprzęt do wieży podwójnej

Sprzęt kontenerowy

				Wybór generatora tlenu PSA serii NTK95
NIE.	Modele	Pojemność (NM3/HR)	Czystość	Zużycie energii Wytworzony tlen 1nm3 (KW/H)	Liczba butelek flowany w 12 godzin (PCS)	Potrzebny operator
1	Ntk 95-5 p	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	Ntk 95-10 p	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	Ntk 95-15 p	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	Ntk 95-20 p	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	Ntk 95-25 p	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	Ntk 95-30 p	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	Ntk 95-40 p	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	Ntk 95-50 p	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	Ntk 95-60 p	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	Ntk 95-80 p	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	Ntk 95-100 p	100	95%+-1%	1.83	200	2

FAQ

1. Jak wysoka może być czystość tlenu i czy spełnia wymagania produkcji półprzewodników?
Nasz generator tlenu PSA dla półprzewodników może rutynowo wytwarzać tlen o czystości 95%± 3%. W przypadku niektórych procesów wymagających wyjątkowo wysokiej czystości tlenu, poprzez dostosowanie parametrów sprzętu, czystość wyjściową tlenu można elastycznie kontrolować w zakresie 95% - 99. 9%, w pełni spełniając rygorystyczne wymagania dotyczące czystości gazu, takie jak litografia półprzewodnikowa, czyszczenie i oksydowanie.

2. Jak stabilny jest sprzęt i czy może zapewnić ciągłe działanie linii produkcyjnej półprzewodnikowej?
Sprzęt przyjmuje podwójny tryb pracy wieży adsorpcji, w połączeniu z inteligentnym systemem sterowania PLC, aby osiągnąć nieprzerwane i stabilne zasilanie tlenu 24-. Ten zautomatyzowany tryb pracy pozwala uniknąć przerw w dostawie gazu spowodowanego ręcznym wymianą butelek, zapewnia niezawodne i stabilne zasilanie gazu do procesów takich jak osadzanie się cienkiego warstwy i trawienie, które są wrażliwe na ciśnienie powietrza, i skutecznie zmniejsza ryzyko przerwy w produkcji spowodowanej problemami z dostawą gazu.

3. W porównaniu z tradycyjnymi metodami dostaw tlenu, jaki jest koszt zastosowania?
W porównaniu z zbiornikami do przechowywania ciekłego tlenu lub wysokociśnieniowymi cylindrami gazowymi, nasz generator tlenu PSA przyjmuje tryb produkcji tlenu na miejscu, który znacznie oszczędza koszty transportu i magazynowania tlenu. Sprzęt zajmuje niewielki obszar i może być rozszerzony modułowo, zmniejszając koszty wynajmu miejsc. W dłuższej perspektywie koszt jest o około 20% niższy niż tradycyjna metoda zaopatrzenia w tlen, co znacznie zaoszczędzi koszty operacyjne.

4. Czy konserwacja sprzętu jest skomplikowana? Jak długo trwa cykl konserwacji?
Sprzęt jest łatwy w utrzymaniu, przy użyciu stali nierdzewnej o stali nierdzewnej i samoczyszczącego, co znacznie zmniejsza obciążenie konserwacyjne. W normalnych okolicznościach cykl konserwacji trwa tak długo, jak 3-5 lata, a my jesteśmy wyposażone w profesjonalny zespół po sprzedaży, aby zapewnić wsparcie techniczne w dowolnym momencie, aby pomóc Ci rozwiązać problemy podczas działania sprzętu.

Działaj teraz, aby zabezpieczyć łańcuch dostaw tlenu

✅ Dostosowane rozwiązania:
Powiedz nam, że pojemność łóżka i szczytowe zapotrzebowanie na dostosowaną propozycję.
✅ Szybka dostawa:
Moduły wstępnie inżynierskie wysyłane w 8-12 tygodnie.
✅ Opcje finansowania:
Dostępne plany dzierżawy.

Numer telefonu

+86 15888864725

Numer WhatsApp

+86 15888864725

E-mail

sales@newtek-group.com

NEWTEK